項目

設備技術指標選擇

加熱系統

晶體生長環境選擇

氧化氣氛/保護氣氛/真空狀態

長晶溫區選擇

單溫區200mm /300mm/400mm

雙溫100+100/200+200mm /300+300mm

三溫：200+200+200mm

反應腔尺寸選選擇

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100（更多選擇聯系客服）

主控最高工作溫度

1150℃/1650℃

控溫精度

300~1150±0.5℃

主控爐膛材料

高純多晶纖維復合耐火保溫層

主控爐膛模式

環形加熱整體密閉

密封方式

水冷不銹鋼密封法蘭

提拉系統

長晶模式選擇

坩堝下降法 /坩堝平移法

物料裝載模式

上吊裝下推進模式/下裝載模式

晶體運動方式選擇

坩堝只移動/ 坩堝移動并旋轉

結構

雙層滑軌結構，C7大力距滾珠絲杠，SPY鋁托硬光軸直線導軌

長晶進給系統

伺服進給高精度運行平穩，大扭矩諧波減速進給速度30μm/hr~30000μm/hr可調，物料下推進運動模式，無旋轉

裝料密封方式

電動密封法蘭

裝料密封電機

57CM23閉環步進電機，平穩高速

供氣系統

流量計選擇

1/2/3路質子子流量計100sccm  200sccm  ,500sccm            

氣路管芯

專用不銹鋼氣體管道（1/4"）

調節閥類型

手動調節閥

管道常態

常閉

測量精度

±1.0%F.S

線性度

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

壓力范圍

-0.1-0.15 MPa

響應時間

2S

工作環境溫度

(15～50℃)

精度保證溫度

(15～35℃)

真空系統

真空類型選擇

NBD-4C真空泵/ NBD-1013A 分子泵系統

真空計類型

數字真空計/模擬真空計

系統真空

≤5pa  /2.8*10-3pa

操控系統

操控模式

NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，10寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式；

長晶工藝設置

可預存15組工藝曲線，工藝曲線包括溫度，氣體流量，晶體進給速度（長晶速率），任意調用；長晶結束，報警提示，并生成實驗報告導出，（）包含但不限于溫度，氣體流量，進給速率等）

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統全程進行非線性修正（詢問客戶長晶溫度點，可做特別效驗）

實現功能

可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態生長的各類晶體（坩堝下降法）

系統保護

超溫報警，過流保護，斷偶提示

隨機產品配置

反應腔1根 ，鎳鉻鋁吊絲5米 ，說明書1份;隨機工具等。

服務項目

運輸及保險費，包裝費,安裝及技術服務費； 提供12個月質保，觸控系統24個月，終身保修