中南大學程老師為了處理碳酸鈰材料，在我公司定制非標準旋轉PECVD，設備組裝完畢后，進行空載試機，為老師及學生講解設備功能及使用方法，測試各項功能均正常后進行第一次實驗。

裝載大約25克碳酸鈰，由于原料含有較大的水分，開始抽真空明顯感覺抽真空速率及其緩慢，真空泵運行將近一個小時，才能抽至100pa左右，在未通氧氣的情況下，一旦射頻開啟，真空度會迅速升高，且爐管內部輝光為暗淡的紫色，且啟輝不易穩定，需要較長的時間，通入氧氣后會在爐管右端首先反應比較激烈，會出現爆閃的紅光，隨著反應過程的推進，輝光會逐漸穩定且向爐管左側蔓延，直至充滿整個爐管，且輝光顏色會逐漸由暗紫色變為淡紫色最終轉為淡粉色，此后顏色就不再發生變化，真空度也會維持在一個很低的水平，一般在20pa左右，反應完成后物料顏色由之前的純白色變為米黃色。